1) 雙軸同時測量(liang)
2) 大視(shi)野電(dian)子目(mu)鏡技術
3) 高(gao)分辨率(lv)面(mian)陣探測(ce)器
4) 同時(shi)鎖定(ding)、跟蹤(zong)、測(ce)量多(duo)達(da)200個目標
5) USB2.0數(shu)據接口、計算(suan)機實時處理
1) 精密機械的安裝(zhuang)定(ding)位
2) 機械產品直線度(du)、平面(mian)度(du)、垂直度(du)等精密測量
3) 精(jing)密(mi)轉臺(tai)回轉精(jing)度(du)、定位精(jing)度(du)測試
4) 光(guang)學(xue)系統(tong)調(diao)校,激光(guang)投線系統(tong)測量(liang)
5) 光(guang)學平行度及光(guang)束角測試
類型\指標
EXP 1020
PRO
STD
EXP
MAT
分辨率(秒)
0.005
0.01
0.02
重復性(秒)
0.03
0.05
0.1
精度(秒)
±20"內
0.15
0.2
0.3
±600"內
0.5
類型指標
分辨率(μm)
重復性(μm)
精度(μm)
備注:以上技(ji)術參(can)數均使用300mm橋板標定。
150mm
200mm
300mm
500mm
EXP1020
√
有效孔徑
Ф23
Ф20
Ф32
Ф60
視場(X〞/Y〞)
4600〞/3400〞
3300〞/2500〞
2400〞/1800〞
1300〞/970〞
備注:針對特殊要(yao)求(qiu),可提供定(ding)制測試(shi)方案。